주사형전자현미경 (SEM) – 공통기기실험실

장비명(국문)

주사형전자현미경 (SEM)
장비명(영문)

Scanning Electron Microscope (SEM)
호실

302호
장비구분

생물관련장비
제조사

JEOL
모델명

JSM-6510

상세스펙

– Resolution : 3.0nm (30kV, WD8mm)
– Magnification : ×5~300,000
– Accelerating voltage : 0.3~30kV
– Electron gun : Factory Pre-centered Filament
– Specimen stage : Eucentric large-specimen stage
– X: 80 mm, Y: 40 mm, Z: 5 mm to 48 mm,
– Tilt: −10° to 90°, Rotation: 360

응용분야

- 이차전자에 의한 표면영상 분석
- 고배율의 수 Nano크기의 영상 관찰
- Nano크기의 영상 측정
- 일차전자를 통한 Suaface Topographic 및 분포도

용도

- 금속 재료분야 : 금속 및 세라믹스의 표면 관찰, 반도체에서 기판위에 증착시킨 박막 두께 관찰
- 화학공업분야 : 고분자의 형태와 크기, 표면형상 관찰
- 생물 및 의학 분야 : 저전압으로 조직의 형태 관찰
- 지질분야 : 후방산란전자를 이용한 compo/topo 사진촬영

기타

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