【별지 12호 서식】

규 격 서 Commodity Description
관세분류번호 (H.S.K NO.)	품목번호 (Item No.)	품명 및 규격 (Description of Commodity)	단위 (Unit)	수량 (Q'ty)
23990398		PEALD 전용 Chamber 구성	set	1
A. Feature 다양한 화합물을 원자단위로 증착 가능하며, Thin Film 두께 제어가 가능한 Plasma 및 Theraml 기반 원자층 증착 장비 시스템 내 공정 기술을 활용하기 위한 Chamber 및 Chuck Unit 구성. B. Specification Main Process Vacuum Chamber ** Aluminum Chamber ** Rectangle Shape & Various Ports 구성 ** Pumping, Gauge, View Ports 등 구성 4inch Size Substrate 전용 Chuck 구성 ** 4inch Size Mold Heater 구성 ** 4inch Size Substrate Loading 가능 Chuck Unit System Frame Unit ** Chamber 안착 및 이동 / 고정 가능 ** 하부 기타 Utility 구성을 위한 공간 C. System Configuration - 해당 Chamber 구성은 PEALD 설비를 위한 구성으로 기타 Pump, Power, Shower Head, Gas Supply 등과 함께 적용이 가능하도록 설계 및 납품 진행 하여야 함. - 입찰 사양 담당자의 확인 必 D. Accessories - 해당 없음 E. Remark 1. 제조사 및 공급사에 의한 1년간 품질 보증 2. 납품 기한 5개월 이내

2023년 6월 1일