【별지 12호 서식】

규 격 서 Commodity Description
관세분류번호 (H.S.K NO.)	품목번호 (Item No.)	품명 및 규격 (Description of Commodity)	단위 (Unit)	수량 (Q'ty)
23990398		PEALD Vacuum System	set	1
A. Feature 다양한 화합물을 원자단위로 증착 가능하며, Thin Film 두께 제어가 가능한 Plasma 및 Theraml 기반 원자층 증착 장비 시스템 내 공정 기술 사용을 위한 진공 및 공정 압력 제어, 측정을 위한 Vacuum 및 Gauge 구성 B. Specification Low Vacuum Pump ** Rotary Pump 600L/m 급 ** Formblin Oil 사용 필요 ** Pumping LIne (SUS) 구성 Vacuum Valve ** NW40 Throttle Valve을 활용한 공정 압력 제어 ** Pumping On/Off를 위한 Pneumatic Angle Valve 적용 Gauge ** 진공 측정용 저진공 Pirani Gauge 적용 ** ATM Sensor 적용 Auto Pressure Control ** 공정 압력 측정용 Baratron Gauge 적용 ** Throttle Valve 연동 공정 압력 조절 시퀀스 적용 C. System Configuration - 해당 Vacuum Pump, Valve, Gauge 류는 PEALD 설비를 위한 구성으로 적용 가능한 공정 Chamber 와의 호환 필수. 각종 Valve 의 연동을 위한 제어 기술 적용 필요설치 필요 - 입찰 사양 담당자의 확인 必 D. Accessories - 해당 없음 E. Remark 1. 제조사 및 공급사에 의한 1년간 품질 보증 2. 납품 기한 5개월 이내

2023년 6월 1일