【별지 12호 서식】

규 격 서 Commodity Description
관세분류번호 (H.S.K NO.)	품목번호 (Item No.)	품명 및 규격 (Description of Commodity)	단위 (Unit)	수량 (Q'ty)
23990398		PEALD 전용 Scrubber System	set	1
A. Feature 다양한 화합물을 원자단위로 증착 가능하며, Thin Film 두께 제어가 가능한 Plasma 및 Theraml 기반 원자층 증착 장비 시스템 내 공정 기술 사용을 위한 Gas Scurbber System 구성 필요. 공정 후 잔여 Gas 처리를 위한 System B. Specification Gas Scrubber ** Heat & Wet Type Scrubber 공급 ** Capacity 200slm 급 ** Flammable or Toxic Gas Usage Process C. System Configuration - PEALD 공정 이 후 잔류 Gas 및 Precursor 의 분해 처리를 위한 Scrubber 구성. - 입찰 사양 담당자의 확인 必 D. Accessories - 해당 없음 E. Remark 1. 제조사 및 공급사에 의한 1년간 품질 보증 2. 납품 기한 5개월 이내

2023년 6월 1일